近日，中晶科技生产线完成蚀刻添加CHF3新工艺PSS产品的全面量产，标志着蚀刻添加CHF3工艺这一行业全新技术，经过近2年的研究取得圆满成功。

蚀刻添加CHF3工艺是指在PSS生产的蚀刻过程中适当加入CHF3气体，并配以科学调整电极功率、三氯化硼流量、设备腔体温度等参数，实现提升蚀刻选择比，缩短刻蚀工艺时间，提高产量，节约光刻胶及三氯化硼用量。经初步统计，CHF3新工艺导入后蚀刻产能较以往提升10%以上，预估2021年此项技术创新将新增利润超300万元。

近年来，中晶科技始终将技术创新作为推动提质增效的重要抓手和提升核心竞争力的重要途径，紧盯行业技术趋势，不断加大技术研发力度，多项新技术、新工艺的实施，大力推动了公司生产经营提质增效、转型升级。